Herstellung von Komponenten für Halbleiterausrüstung

Präzisions-CNC-Bearbeitung, Blechbearbeitung, 3D-Druck und Montagedienstleistungen für Hersteller von Halbleiterausrüstung. Von der Prototypenentwicklung bis zur Serienfertigung liefert Dakings Rapid maßgeschneiderte Komponenten für Halbleiterausrüstung mit engen Toleranzen, kurzen Lieferzeiten und zuverlässiger Qualitätskontrolle.

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Fertigung mit engen Toleranzen
Unterstützung vom Prototyp bis zur Serienfertigung

Lösungen für die Fertigung von Komponenten für Halbleiterausrüstung

Wir fertigen maßgeschneiderte Bauteile für die Halbleiterfertigung, die Waferbearbeitung, die Inspektion, die Messtechnik, die Verpackung, die Prüfung, Vakuumsysteme sowie Halbleiter-Automatisierungsanlagen. Ganz gleich, ob Sie einen einzelnen Prototyp oder eine Produktion in kleinen bis mittleren Stückzahlen benötigen – unser Team unterstützt Sie dabei, die Produktentwicklung zu beschleunigen und die Lieferketten zu verkürzen.

Die Halbleiterausrüstung, die wir beliefert haben

Wafer-Handhabungsgeräte

Präzisionskomponenten für Wafer-Transport-, Positionierungs- und Automatisierungssysteme.

  • Wafer-Transferroboter
  • Wafer-Beschickungssysteme
  • FOUP-Handhabungssysteme
  • Wafer-Ausrichtgeräte
  • Wafer-Sortieranlagen
  • Wafer-Transportmodule
  • Atmosphärische Transfersysteme

Lithografieanlagen

Hochpräzise Komponenten für moderne Lithografie- und optische Ausrichtungssysteme.

  • Lithografieanlagen
  • Optische Ausrichtungssysteme
  • Belichtungsgeräte
  • Systeme zur Handhabung von Fadenkreuzen
  • Präzisions-Bewegungsplattformen

Ätzgeräte

Maßgefertigte und speziell angefertigte Komponenten für Plasma- und Trockenätzverfahren.

  • Plasmaätzsysteme
  • Anlagen für das reaktive Ionenätzen (RIE)
  • Anlagen für das tiefe reaktive Ionenätzen (DRIE)
  • Prozesskammern
  • Gasversorgungssysteme

Abscheidungsanlagen

Komponenten für Vakuumbeschichtungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.

  • CVD-Anlagen
  • PVD-Anlagen
  • ALD-Anlagen
  • PECVD-Anlagen
  • Sputteranlagen

CMP-Ausrüstung

Präzisionskomponenten für chemisch-mechanische Planarisierungsanlagen.

  • CMP-Tools
  • Poliersysteme
  • Wafer-Trägerbaugruppen
  • Förderanlagen für Schlamm

Prüf- und Messtechnik

Hochpräzise mechanische Komponenten für Mess- und Prüfsysteme in der Halbleiterindustrie.

  • Optische Prüfsysteme
  • Wafer-Prüfgeräte
  • Koordinatenmesssysteme
  • Messtechnik-Plattformen
  • Bildverarbeitungssysteme

Halbleiter-Prüfgeräte

Maßgefertigte Teile und Baugruppen für Anwendungen im Bereich der Gerätetests und -validierung.

  • Messstationen
  • Halbleiter-Testgeräte
  • Einbrennsysteme
  • Automatisierte Testgeräte (ATE)
  • Sockel-Testplattformen

Automationsanlagen für die Halbleiterindustrie

Mechanische Komponenten und Baugruppen für die Fabrikautomation und die Fördertechnik.

  • Übertragungsmodule
  • Roboter-Automatisierungssysteme
  • Bestückungsanlagen
  • Materialumschlagplattformen
  • Automatisierungssysteme für die Halbleiterfertigung

Von uns hergestellte Teile für Halbleiterausrüstung

Wir fertigen maßgeschneiderte Komponenten für Halbleiteranlagen, Ersatzteile, Baugruppen sowie präzisionsgefertigte mechanische Teile, die in allen Produktions- und Prüfprozessen der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommen.

Komponenten für Vakuum- und Prozesssysteme
  • Vakuumkammern
  • Vakuumflansche
  • Vakuumabdeckungen
  • Vakuumadapter
  • Gasverteilungsverteiler
  • Komponenten für die Gasversorgung
  • Duschköpfe
  • Komponenten der Prozesskammer
  • Flüssigkeitsanschlüsse
  • Kühlverteiler
Komponenten für die Waferhandhabung
  • Wafer-Spannfutter
  • Komponenten für elektrostatische Spannfutter
  • Endeffektoren
  • Wafer-Greifer
  • Komponenten eines Roboterarms
  • Ausrichtvorrichtungen
  • Positionierungsplatten
  • Übertragungsmechanismen
Präzisionsbewegungskomponenten
  • Komponenten für Linearantriebe
  • Bewegungsplattformen
  • Präzisionsplattformen
  • Führungsschienenhalterungen
  • Lagergehäuse
  • Motorlager
  • Positionierungsvorrichtungen
Konstruktions- und mechanische Komponenten
  • Befestigungsplatten
  • Geräterahmen
  • Halterungen
  • Strukturelle Grundlagen
  • Maschinengehäuse
  • Gerätegehäuse
  • Abdeckungen und Verkleidungen
  • Maßgefertigte Leuchten

Fertigungskapazitäten für Komponenten von Halbleiterausrüstung

Fortschrittliche Fertigungslösungen für maßgeschneiderte Bauteile für Halbleiteranlagen, Prototypen und Serienkomponenten.

CNC-Bearbeitung von Bauteilen für Halbleiterausrüstung

CNC-Bearbeitung

Hochpräzise CNC-Bearbeitung für komplexe Komponenten von Halbleiteranlagen, die enge Toleranzen und eine hervorragende Oberflächenqualität erfordern.

CNC-Bearbeitung
Blechbearbeitung für Halbleiterausrüstung

Herstellung von Blechen

Fertigungsdienstleistungen für Struktur- und Gehäusekomponenten, die in Halbleiteranlagen zum Einsatz kommen.

Blechbearbeitung
3D-Druck für Komponenten von Halbleiteranlagen

3D-Druck

Schnelle Prototypenerstellung und Kleinserienfertigung für die Entwicklung von Halbleiterausrüstung und die Designvalidierung.

3D-Druck Dienstleistungen
Montagedienstleistungen für Halbleiterausrüstung

Montage Dienstleistungen

Mechanische Montagedienstleistungen für Module und Baugruppen von Halbleiteranlagen.

Montage Dienstleistungen
Materialien und Oberflächenbehandlungen

Werkstoffe und Oberflächenbehandlung für Komponenten von Halbleiteranlagen

Die Materialauswahl und die Oberflächenbehandlung sind entscheidend für Komponenten von Halbleiteranlagen, bei denen Präzision, Sauberkeit, Korrosionsbeständigkeit und langfristige Zuverlässigkeit gefragt sind.

Werkstoffe für Komponenten von Halbleiterausrüstung

Es steht eine breite Palette an Metallen und technischen Kunststoffen zur Verfügung, um die Anforderungen an Leistung, Reinheit und Haltbarkeit zu erfüllen.

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Häufig gestellte Fragen zur Herstellung von Komponenten für Medizinprodukte

Ja. Wir fertigen maßgeschneiderte Komponenten für Halbleiteranlagen, darunter Vakuumteile, Komponenten für die Waferhandhabung, Präzisionsvorrichtungen und Baugruppen. Wir unterstützen sowohl die Prototypenentwicklung als auch die Serienfertigung.
Wir fertigen eine breite Palette von Bauteilen für Halbleiteranlagen, darunter Wafer-Spannfutter, Vakuumkammern, Verteilerblöcke, Endeffektoren, Präzisionstische und Prüfvorrichtungen.
Ja. Wir bieten Rapid Prototyping für Komponenten von Halbleiterausrüstung an, um die Designvalidierung und Funktionsprüfungen in frühen Entwicklungsphasen zu unterstützen. Die Lieferzeiten hängen von der Komplexität und der Materialauswahl ab.
Prototypenteile können in der Regel innerhalb eines Tages fertiggestellt werden, je nach ihrer Komplexität. Die Vorlaufzeit für die Serienfertigung hängt vom Auftragsvolumen und den Prozessanforderungen ab.
Ja. Wir erstellen schnell Angebote, in der Regel innerhalb weniger Stunden nach Erhalt der CAD-Dateien oder Zeichnungen. Außerdem geben wir vor Produktionsbeginn Feedback zur Fertigungsfähigkeit (DFM).
Zu den gängigen Werkstoffen zählen Aluminium, Edelstahl (304/316L), Titan, Kupfer sowie technische Kunststoffe wie PEEK und PTFE für saubere und leistungsstarke Anwendungen.
Ja. Wir sind auf die Produktion von Komponenten für Halbleiteranlagen in kleinen Stückzahlen und mit großer Produktvielfalt spezialisiert, die sich für Forschung und Entwicklung, Pilotserien und Anlagenmodernisierungen eignen.
Ja. Wir stellen eine vollständige Dokumentation bereit, einschließlich Materialzertifikate, Prüfberichte und Qualitätsaufzeichnungen, um die Anforderungen an die Herstellung von Halbleiterausrüstung zu erfüllen.
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